一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法
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2020104433888
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摘要:

一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法,涉及一种轴承套圈内引导面沉积涂层的方法。目的是解决轴承套圈进行沉积TiN时非引导面的防护不充分、沉积速度低和均匀性差的问题。方法:屏蔽机构对轴承套圈内表面、轴承套圈端面和外表面进行屏蔽,将屏蔽后的轴承套圈安装在倾斜回转机构上;在多弧真空离子镀膜机中安装轴承套圈回转屏蔽系统,将两个多弧靶材安装在轴承套圈回转屏蔽系统两侧,然后依次进行检测漏率、抽真空与预加热、溅射清洗、多弧离子镀TiN和冷却降温。本发明提高了多弧靶的利用率和沉积速率,沉积厚度均匀性得到提高。本发明适用于轴承套圈内引导面沉积TiN涂层。

详细介绍

一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法,涉及一种轴承套圈内引导面沉积涂层的方法。目的是解决轴承套圈进行沉积TiN时非引导面的防护不充分、沉积速度低和均匀性差的问题。方法:屏蔽机构对轴承套圈内表面、轴承套圈端面和外表面进行屏蔽,将屏蔽后的轴承套圈安装在倾斜回转机构上;在多弧真空离子镀膜机中安装轴承套圈回转屏蔽系统,将两个多弧靶材安装在轴承套圈回转屏蔽系统两侧,然后依次进行检测漏率、抽真空与预加热、溅射清洗、多弧离子镀TiN和冷却降温。本发明提高了多弧靶的利用率和沉积速率,沉积厚度均匀性得到提高。本发明适用于轴承套圈内引导面沉积TiN涂层。


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一种高强度高过滤通量铜合金材料的制备方法

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用户评论

内容:
11
2022-01-05
专利不错
2022-01-05
专利很优质
2022-01-05
这个专利不错
2022-01-04
很好
2021-12-06
产品很不错 非常推荐
2021-12-03

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